探針臺是對晶圓上形成的所有芯片進(jìn)行電氣特性的測試的設(shè)備。
使用這臺設(shè)備可以對芯片的良品、不良品的進(jìn)行篩選。
東京精密探針臺產(chǎn)品陣列包括:
探針臺:UF200R
探針臺:UF190R
探針臺:UF2000
探針臺:FP2000
探針臺:UF3000EX