適合測(cè)試分立器件的200mm探針臺(tái)。 開(kāi)環(huán)系統(tǒng)和輕量化的Z軸系統(tǒng)，實(shí)現(xiàn)了更高的生產(chǎn)效率。
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? 它可執(zhí)行4至8英吋晶圓的傳輸與針測(cè)。
? 採(cǎi)用和UF2000相同的MMI。
? 多種選擇，可達(dá)成所有非業(yè)界標(biāo)準(zhǔn)種類的晶圓針測(cè)。
? 封裝與超薄晶圓的傳輸是經(jīng)由特殊傳輸機(jī)制
? SEMS是經(jīng)由特殊機(jī)制傳輸
? 微小電流針測(cè)環(huán)境
? 高壓電針測(cè)環(huán)境
? 探針追蹤檢查功能
