采用 Ecdm 400E 通用 ESD 模擬器的半自動(dòng) ESD 測(cè)試儀。與手動(dòng)晶圓探測(cè)系統(tǒng)或晶粒操縱器一起使用，可以完成晶圓或晶粒級(jí)半自動(dòng) ESD 測(cè)試以及封裝器件測(cè)試。
通過(guò) V-I 曲線或泄漏電流變化檢測(cè)來(lái)檢測(cè)損壞。應(yīng)力水平和測(cè)量點(diǎn)由個(gè)人計(jì)算機(jī)通過(guò) GP-IB 進(jìn)行編程。一旦選擇了測(cè)試端子，會(huì)自動(dòng)測(cè)量 ESD 耐久性。
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